Halvlederfiltre

Halvledergasfiltre:

Sikring af upåklagelig gasrenhed ved spånfremstilling

I den indviklede verden af ​​halvlederfremstilling, hvor præcision og renhed er altafgørende, er kvaliteten af

anvendte gasser spiller en afgørende rolle for processens succes. Urenheder, selv på uendeligt små niveauer,

kan skabe kaos på mikrochips sarte kredsløb, hvilket gør dem defekte og ubrugelige. For at sikre

denne kritiske proces står halvledergasfiltre som ubøjelige vogtere, der omhyggeligt fjerner forurenende stoffer

og sikring af den uberørte kvalitet af gasser, der strømmer gennem produktionslinjerne.

Der er mange fremragende funktioner og fordele ved sintrede metalfiltre

1. Fremstillet i et avanceret renrumsmiljø

Disse filtre er født i et state-of-the-art renrum, et miljø, hvor ulastelige forhold omhyggeligt opretholdes for at minimere eventuel forurening. De gennemgår en streng fremstillingsproces, der starter med præcisionssvejsning under en atmosfære af renset luft. En efterfølgende skylning med deioniseret vand, efterfulgt af en højtryksfiltreret nitrogenskylning, eliminerer eventuelle dvælende partikler og reducerer risikoen for partikeludskillelse.

2. Enestående partikelfjernelseseffektivitet

Med en bemærkelsesværdig filtreringseffektivitet på 9 LRV for 0,003 μm partikler, der overholder de strenge standarder fastsat af SEMI F38 og ISO 12500 testmetoder, fjerner disse filtre effektivt alle korrosionsgenererede partikler og partikler genereret fra bevægelige dele, hvilket sikrer den uberørte renhed af gasser.

3. Overlegen mekanisk styrke

Disse filtre er grundigt testet for at garantere enestående modstandsdygtighed i krævende fremstillingsprocesser og miljøer, der ofte bruger høje gastryk, og giver urokkelig ydeevne gennem hele deres levetid.

4. Overskridelse af de højeste industristandarder

Disse filtre overgår de strenge gashåndteringsfiltreringskrav til halvlederbehandling og gennemgår strenge tests for at sikre, at de opfylder den kritiske filtreringseffektivitet, præcise flowkontrol og sikkerhedsstandarder, der kræves af gasleveringssystemer i halvlederfremstilling.

5. Urokkelig forpligtelse til sikkerhed

For at sikre mod eksponering for brændbare, ætsende, giftige og pyrofore procesgasser gennemgår filterhusene omhyggelig lækagetest, hvilket sikrer, at de opnår en bemærkelsesværdig lækagehastighed på mindre end 1x10-9 atm sccc/sekund. Denne urokkelige forpligtelse til sikkerhed sikrer, at farlige gasser indesluttes og forhindres i at forårsage skade.

6. Kompromisløs renhed for fremragende spånfremstilling

Gennem deres enestående filtreringsegenskaber, urokkelige engagement i sikkerhed og overholdelse af de højeste industristandarder, spiller disse gasfiltre en afgørende rolle i at beskytte den komplicerede proces med halvlederfremstilling. De står som renhedens vogtere og sikrer, at kun de reneste gasser strømmer gennem produktionslinjerne, hvilket baner vejen for skabelsen af ​​højtydende mikrochips, der driver vores moderne verden.

Typer af halvlederfiltre

Halvlederfiltre bruges i en række forskellige applikationer, herunder:

* Elektronikfremstilling:

Halvlederfiltre bruges til at fjerne partikler fra ultrarent vand, gasser og kemikalier, der bruges til fremstilling af halvledere.

* Kemisk mekanisk planarisering (CMP):

Halvlederfiltre bruges til at fjerne partikler fra CMP-slam, som bruges til at polere halvlederskiver.

* Biomedicinsk:

Halvlederfiltre bruges til at fjerne partikler fra væsker, der bruges i medicinsk diagnostik og behandlinger.

* Miljø:

Halvlederfiltre bruges til at fjerne partikler fra luft og vand.

Der er fire hovedtyper af halvlederfiltre:

1. Membranfiltre:

Membranfiltre er lavet af en tynd, porøs film, der tillader væsker at passere igennem, mens de fanger partikler.

 

Membranfiltre til halvledere

 

 

2. Dybdefiltre:

Dybdefiltre er lavet af et tykt, snoet leje af materiale, der fanger partikler, når de strømmer gennem filtret.

 

Dybdefiltre til halvledere

 

 

3. Adsorbentfiltre:

Adsorberende filtre er lavet af et materiale, der tiltrækker og holder på partikler.

 

 Adsorberende filtre til halvledere

 

 

4. Sintrede metalfiltre

Sintrede metalfiltre er en type dybdefilter, der almindeligvis anvendes i halvlederfremstilling. De fremstilles ved at sintre fint metalpulver til en porøs struktur. Sintrede metalfiltre er kendt for deres høje holdbarhed, høje filtreringseffektivitet og evne til at modstå høje temperaturer og tryk.

Fordele ved sintrede metalfiltre til fremstilling af halvledere:

* Høj holdbarhed:

Sintrede metalfiltre er meget holdbare og kan modstå barske driftsforhold, herunder høje temperaturer, tryk og ætsende kemikalier.

 

* Høj filtreringseffektivitet:

Sintrede metalfiltre kan fjerne partikler ned til 0,01 mikron i størrelse, hvilket er afgørende for at beskytte sarte halvlederkomponenter mod forurening.

* Lang levetid:

Sintrede metalfiltre har en lang levetid og kan nemt rengøres og genbruges.

* Kemisk kompatibilitet:

Sintrede metalfiltre er kompatible med en lang række kemikalier, hvilket gør dem velegnede til brug i en række forskellige halvlederfremstillingsprocesser.

Anvendelser af sintrede metalfiltre i halvlederfremstilling:

* Gasrensning:

Sintrede metalfiltre bruges til at rense gasser, der bruges i halvlederfremstilling, såsom nitrogen, brint og oxygen.

* Kemisk filtrering:

Sintrede metalfiltre bruges til at filtrere kemikalier, der bruges i halvlederfremstilling, såsom syrer, baser og opløsningsmidler.

* Ultrarent vandfiltrering:

Sintrede metalfiltre bruges til at filtrere ultrarent vand, der bruges i halvlederfremstilling.

* CMP-gyllefiltrering:

Sintrede metalfiltre bruges til at filtrere CMP-slam, som bruges til at polere halvlederwafere.

Sintrede metalfiltre er en væsentlig del af halvlederfremstillingsprocessen, der hjælper med at sikre produktionen af ​​højkvalitets halvlederenheder.

 

Den type halvlederfilter, der anvendes i en bestemt anvendelse, afhænger af størrelsen af ​​de partikler, der fjernes, typen af ​​væske, der filtreres, og det ønskede filtreringsniveau.

Her er en tabel, der opsummerer de forskellige typer af halvlederfiltre:

Filtertype	Beskrivelse	Ansøgninger	Billede
Membranfiltre	Fremstillet af en tynd, porøs film, der tillader væsker at passere igennem, mens de fanger partikler.	Elektronikfremstilling, CMP, biomedicinsk, miljømæssig	Membranfiltre til halvledere
Dybde filtre	Fremstillet af en tyk, snoet seng af materiale, der fanger partikler, når de strømmer gennem filteret.	CMP, biomedicinsk, miljømæssig	Dybdefiltre til halvledere
Adsorberende filtre	Fremstillet af et materiale, der tiltrækker og holder på partikler.	Elektronikfremstilling, CMP, biomedicinsk, miljømæssig	Adsorberende filtre til halvledere
Sintrede metalfiltre	Fremstillet ved at sintre fint metalpulver til en porøs struktur.	Gasrensning, kemisk filtrering, ultrarent vandfiltrering, CMP-gyllefiltrering	Åbner i et nyt vinduewww.hengko.com Sintrede metalfiltre til halvledere

Anvendelse

Halvledergasfiltre i sintrede metal er meget udbredt i en række forskellige anvendelser i halvlederindustrien. Deres unikke egenskaber, såsom høj filtreringseffektivitet, holdbarhed og evne til at modstå høje temperaturer og tryk, gør dem til en væsentlig komponent i gasleveringssystemer i halvlederfremstilling.

Her er nogle af de specifikke anvendelser af sintrede metalhalvledergasfiltre:

1. Waferproduktion:

Sintrede metalfiltre bruges til at rense gasser, der bruges i waferproduktion, såsom nitrogen, brint og oxygen. Disse gasser er essentielle for processer som epitaksial vækst, ætsning og doping.

2. Kemisk filtrering:

Sintrede metalfiltre bruges til at filtrere kemikalier, der bruges i halvlederfremstilling, såsom syrer, baser og opløsningsmidler. Disse kemikalier bruges til en række forskellige formål, herunder rengøring, ætsning og polering.

3. Ultrarent vandfiltrering:

Sintrede metalfiltre bruges til at filtrere ultrarent vand (UPW), der bruges i halvlederfremstilling. UPW er essentielt til rengøring og skylning af wafers samt til fremstilling af kemikalier.

4. CMP-opslæmningsfiltrering:

Sintrede metalfiltre bruges til at filtrere CMP-slam, som bruges til at polere halvlederwafere. CMP er en kritisk proces i fremstillingen af ​​mikrochips.

5. Point-of-use (POU) filtrering:

Sintrede metalfiltre bruges ofte som POU-filtre, som installeres direkte på brugsstedet for at give det højeste niveau af filtrering. POU-filtre er særligt vigtige til applikationer, hvor renheden af ​​gassen er kritisk, såsom ved fremstilling af mikroprocessorer og andre højtydende enheder.

6. Gashåndtering med høj renhed:

Sintrede metalfiltre bruges i gashåndteringssystemer med høj renhed til at fjerne forurenende stoffer fra gasser, der bruges i halvlederfremstilling. Disse forurenende stoffer kan omfatte partikler, fugt og organiske forbindelser.

7. Fremstilling af mikroelektronik:

Sintrede metalfiltre bruges til fremstilling af mikroelektronik, såsom computere, tablets, mobiltelefoner, IoT-sensorer og kontrolenheder.

8. Filtrering af mikroelektromekaniske systemer (MEMS):

Sintrede metalfiltre bruges i MEMS-filtrering, som er processen med at fjerne forurenende stoffer fra mikro-elektromekaniske systemer. MEMS bruges i en række forskellige applikationer, herunder sensorer, aktuatorer og transducere.

9. Filtrering af datalagringsenheder:

Sintrede metalfiltre bruges til filtrering af datalagringsenheder, som er processen med at fjerne forurenende stoffer fra datalagerenheder, såsom harddiske og solid-state-drev.

Ud over disse specifikke applikationer bruges sintrede metalhalvledergasfiltre også i en række andre applikationer i halvlederindustrien. Deres alsidighed og pålidelighed gør dem til et vigtigt værktøj for halvlederproducenter.

Leder du efter sintrede metalhalvledergasfiltre i topkvalitet?

HENGKO er din go-to-partner for OEM-løsninger inden for halvlederfremstillingssystemer.

Vores præcisionskonstruerede filtre sikrer pålidelighed og effektivitet i dine processer, hvilket giver dig fordelen på et konkurrencepræget marked.

Hvorfor vælge HENGKOs filtre?

* Overlegen kvalitet og holdbarhed
* Skræddersyede løsninger, der passer til dine specifikke behov
* Forbedret ydeevne til halvlederfremstilling

Lad ikke filtreringsudfordringer holde din produktion tilbage.

Kontakt os i dag for at udforske, hvordan vores sintrede metalfiltre kan revolutionere dit produktionssystem.

Kontakt os påka@hengko.com

Partner med HENGKO og tag et skridt mod ekspertise inden for halvlederfremstilling!