HENGKO højrent porøst metalkammerdiffusor Sten til højrent gasfiltrering til halvleder
HENGKO porøse metaldiffusorer udlufter hurtigt vakuumkamre til atmosfæren, hvilket reducerer cyklustiden og øger gennemløbet.Vores diffusorer i rustfrit stål giver ensartede og laminære gasstrømme uden at forstyrre partikler i kammeret.Disse porøse metaldiffusorer fjerner også partikler større end 0,1 µm fra indgående gas, hvilket minimerer defekter på waferen.
Diffusorer i rustfrit stål kan modstå højere driftstryk og bevare produktets integritet - den længste levetid i branchen.Og for korrosionsbestandighed, der er nikkel overlegen, skal du bruge HENGKO High Purity Diffusers.
Ansøgninger
HENGKO porøse metaldiffusorer bruges i udluftningsapplikationer på lastlåsekamre, overføringskamre, kølekamre og proceskamre i halvlederudstyrsgrænseflader (CVD, PVD, Etch, Epi) eller andre vakuumkamre
Kan du ikke finde et produkt, der opfylder dine behov?Kontakt vores sælgere forOEM/ODM tilpasningstjenester!