Temperatur- og fugtighedssensor til halvleder-renrumstemperatur fugtighedskontrolskema
Produktudstilling
Temperaturenogfugtigheden i det rene rum bestemmes hovedsageligt i henhold til proceskravene, men under forudsætning af at proceskravene opfyldes, bør følelsen af komfort tages i betragtning.Med forbedringen af kravene til luftrenhed har der været en tendens til flere og mere skrappe krav til temperatur og luftfugtighed.
Da behandlingsnøjagtigheden er mere og mere fin, så er temperaturudsvingsområdet mindre og mindre.For eksempel, i den litografiske eksponeringsproces i storstilet integreret kredsløbsproduktion, kræves forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem glas og siliciumwafer som maskemateriale mindre og mindre.Diameter 100 um silicium wafer, temperaturstigning 1 grad, vil forårsage 0,24um lineær ekspansion, så der skal være en temperatur på ±0,1 grad, samtidig er luftfugtighedsværdien generelt lav, fordi folk sveder, produktet vil have forurening, især bange for natrium halvleder workshop, bør denne workshop ikke overstige 25 grader.
Høj luftfugtighed giver flere problemer.Når den relative luftfugtighed overstiger 55 %, vil der dannes dug på kølevandsrørets væg, hvilket vil forårsage forskellige ulykker, hvis det sker i præcisionsanordninger eller kredsløb.Når den relative luftfugtighed er 50 %, er den let at ruste.Derudover, når luftfugtigheden er for høj, vil støvet, der sidder fast på overfladen af siliciumchippen, blive kemisk adsorberet på overfladen for at modstå fjernelse.Jo højere den relative luftfugtighed er, er vedhæftningen svær at fjerne, men når den relative luftfugtighed er lavere end 30%, er partiklerne nemme at adsorbere på overfladen på grund af virkningen af elektrostatisk kraft, og et stort antal halvlederenheder er udsat for sammenbrud.Det optimale temperaturområde for waferproduktion er 35-45%.
Derfor er styringen af temperatur og luftfugtighed særligt vigtig, HENGKO kan give dig en række aftemperatur- og fugtighedstransmitter tilpassede behandlingsløsninger!
Temperatur- og fugtighedssensor til halvleder-renrumstemperatur fugtighedskontrolskema
Kan du ikke finde et produkt, der opfylder dine behov?Kontakt vores sælgere forOEM/ODM tilpasningstjenester! 
