Højrenhedsfiltrering til ultraren halvlederproduktion
Beskrivelse
Højflowgasfilter – Specielt designet til ultrahøj renhed af procesgas i halvlederproduktion. Præcisionskonstrueret af 316L rustfrit stål har det et design med flere kolonner eller stablede diskmedier for at sikre lav modstand ved høje flowhastigheder, med en filtreringsnøjagtighed på 0,003 μm for at opfylde krav til ultrahøj renhed. Helmetalkonstruktionen gør det til en ideel filtreringsløsning til dynamiske miljøer med høj temperatur.
Produktfunktion
▶Alle 316L rustfrit stålstrukturer— Sikrer holdbarhed og korrosionsbestandighed.
▶Høj flowhastighed, lav modstand— Optimeret til højt flow med minimalt tryktab.
▶Ultrahøj partikelretentionseffektivitet— Fremragende til at opretholde ultrarene forhold.
▶Modstandsdygtig over for høje temperaturer, tryk og korrosion— Velegnet til barske miljøer.
▶Kompatibel med forskellige procesgasser— Alsidig til en række industrielle anvendelser.
▶Ideel til fremstilling, testning og emballering i renrum— Perfekt til brug i kontrollerede miljøer.
▶100% integritetstestning— Hvert filter gennemgår omfattende integritetstest for kvalitetssikring.
▶100% heliumlækagetest— Bekræftet gennem heliumlækagetest for at sikre pålidelighed i kritiske applikationer.

Datablad
Tekniske parametre
| Parameter | Specifikation |
|---|---|
| Filterelementmateriale | 316L rustfrit stål pulver sintret |
| Husmateriale | 316L rustfrit stål |
| Maks. indløbstryk | 207 bar |
| Maks. driftsdifferenstryk | 5,2 bar |
| Heliumvalideringslækagehastighed | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Heliumtestningslækagehastighed | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Overfladebehandling | |
| Ydre overflade | Ra < 1,6 μm |
| Indvendig overflade | Ra < 0,2 μm |
| Maks. driftstemperatur | |
| Inert gas | 400-500 ℃ |
| Ætsende og reaktiv gas | 50 ℃ |
| Partikelretentionseffektivitet | ≥99,9999999 % (9LRV) @ 30 slpm |
| Nedstrøms renlighed | ≤0,03 partikler/liter @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Partikelretentionsstørrelse | ≥0,003 μm |
Størrelse

Her er varenummeret, du kan bestille, og størrelsesoplysninger:
| Produktmodel | Filterelementmateriale | Filtreringsnøjagtighed (μm) | Forbindelsestype |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L rustfrit stål | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L rustfrit stål | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L rustfrit stål | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L rustfrit stål | 10~0,003 | 1” |
| Kan tilpasses | 316L rustfrit stål | 10~0,003 | Efter behov |
Typiske anvendelser
nogle typiske anvendelser afHøjrenhedsfiltre til bulk og forsyningsvirksomhederogGasstrømningsfiltre ved gaspuden:
1. Halvlederproduktion
*Sikrer ultraren gasforsyning til waferfremstilling, ætsning og kemisk dampaflejring (CVD) processer.
*Opretholder høj renhed i bulkgasdistributionssystemer for nitrogen, argon og andre bæregasser.
2. Farmaceutisk produktion
*Leverer steril og partikelfri gas til kritiske produktionsmiljøer.
*Understøtter filtrering med høj renhed til renrum og kontrollerede miljøer for at opretholde produktets integritet.
3. Laboratoriegassystemer
*Anvendes i laboratoriesammenhænge til at rense gasstrømme i analytisk udstyr som gaskromatografi og massespektrometri.
*Sikraer gasser med høj renhed til forsknings- og testapplikationer og beskytter følsomme instrumenter.
4. Forarbejdning af fødevarer og drikkevarer
*Filtrerer CO₂ og andre gasser, der anvendes til kulsyrebehandling, emballering og opbevaring, hvilket opretholder fødevaresikkerhed og kvalitet.
*Sikrer kontamineringsfri gasforsyning i procesanlæg, især til bulkgasforsyningsvirksomheder.
5. Olie- og gasindustrien
*Renser naturgasstrømme i gaspudefiltrering og fjerner forurenende stoffer før opbevaring eller transport.
*Beskytter downstream-udstyr ved at fjerne partikler, fugt og urenheder i højtryksgassystemer.
6. Kemisk fremstilling
*Filtrerer brugsgasser som nitrogen og argon, der anvendes i kemisk syntese og reaktioner.
*Opretholder gasrenhed for at forhindre kontaminering og reaktionsukonsistenser.
7. Luftfart og forsvar
*Leverer gasser med høj renhed i produktions- og testmiljøer for materialer og komponenter til luftfart.
*Sikre ensartet gasrenhed i kontrollerede miljøer til montering af fly og forsvarsudstyr.
8. Energiproduktion (kraftværker)
*Filtrerer højtryksgasser til køle- og procesapplikationer, især i høje temperaturer.
*Forbedrer effektiviteten og reducerer slid på udstyr ved at forhindre kontaminering i gaskøle- og flowsystemer.
Disse fFiltre er essentielle i enhver anvendelse, der kræver ren, ensartet gasstrøm, hvilket forbedrer udstyrsbeskyttelsen,
proceseffektivitet og slutproduktkvalitet på tværs af brancher.
![]()
Send din besked til os:






