Højtydende IGS overflademonterede C-tætningsfiltre til halvledergasleveringssystemer
Beskrivelse
HENGKO overflademonterede filtre er designet til at opfylde de krævende krav til integrerede gassystemer, der anvendes i OEM-værktøjer til halvledere. Disse filtre tilbyder brancheførende filtrering ved 0,003 µm og sikrer enestående ydeevne og pålidelighed med en partikelopfangningseffektivitet på ≥99,9999999% (9-LRV) ved 120 slpm.
Disse filtre er konstrueret af robust 316L rustfrit stålpulver sintret til filterelementet og huset og overholder SEMI F86-0304-specifikationerne. De har to-ports komponenter skræddersyet til 1,125" gasdistributionssystemer med en C-tætningskonfiguration. De understøtter et maksimalt indløbstryk på 3,4 MPa ved 100°C og en maksimal driftstrykforskel på 0,69 MPa ved 100°C.
Disse specialfiltre, der er kompatible med både C-type og W-type tætningsspecifikationer, opnår renlighed nedstrøms med partikelfrigivelse af
Med en overfladefinish på Ra< 1,6 µm på ydersiden og RaMed en indvendig diameter på < 0,13 µm er de designet til at modstå høje temperaturer på op til 460 °C. Disse filtre er konstrueret til nem integration og modulære designopgraderinger, forenkler installation og vedligeholdelse og hjælper med at optimere systemets ydeevne i halvledergasleverings- og styringsapplikationer.
Produktfunktion
▶ Samlet konstruktion i 316L rustfrit stål
▶ Miniaturiseret design, kompakt struktur, pladsbesparende
▶ Fremragende gasudskiftnings- og desorptionsegenskaber
▶ Høj temperatur-, højtryks- og korrosionsbestandig
▶ Elektropoleret 316L rustfrit stålhus
▶ Nem og effektiv installation og vedligeholdelse
▶ Mekanisk tætning, strukturelt ikke-svejset til mediet
Datablad
| Tekniske parametre | Værdier |
|---|---|
| Filterelementmateriale | 316L sintret pulver i rustfrit stål |
| Husmateriale | 316L rustfrit stål |
| Maksimalt indløbstryk | 3,4 MPa ved 100°C |
| Maksimal driftsdifferentiale | 0,69 MPa ved 100°C |
| Heliumverifikationslækagehastighed | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Helium Test Lækagehastighed | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Overfladebehandling | Ydre overflade Ra< 1,6 μm |
| Indre overflade Ra< 0,13 μm | |
| Maksimal driftstemperatur | 460°C |
| Effektivitet af partikelopfangning | ≥99,9999999 % (9-LRV) @ 120 slpm (Reference MPPS, alle partikler) |
| Nedstrøms renlighed | Partikelfrigivelse:< 0,03 partikler/liter (< 1 partikel/ft³) |
| Flygtige stoffer:< 10 ppb fugtighed | |
| Partikelopfangningsstørrelse | ≥0,003 μm |
| Flowområde | 0 ~ 120 slpm |
Størrelse
Her er varenummeret, du kan bestille, og størrelsesoplysninger:
| Produktmodel | Flowhastighed | Højde H (mm) | Filtreringspræcision | Rengøringsniveau |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Typiske anvendelser
Til brug med W-tætning og C-tætning, 1,125” og 1,5” overflademonterede modulære gasleveringssystemer.
Send din besked til os:
